6英寸手动探针台MPS150A

应用方向：

MPS150A主要用于基本的MOSFET、CMOS片、GaN芯片、RF芯片、有机器件、OLED等的IV,CV,S阻抗参数测试测量。广泛应用于高校微电子教学及科研、实验室芯片失效分析、材料器件测试。

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产品详情

台面规格:

探针台台面平整度：5μm。

探针台可以控制台面快速上下升降6mm，加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择。

探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，精度1μm。加装探针卡点测wafer时方便对die的定位。

载片台或吸盘规格:

平整度：5μm，采用真空吸附方式，真空吸附孔的中心孔径从250μm-1mm，最小吸住尺寸为0.3mmX0.3mm的样品，更大为150mm直径

可360度旋转，旋转角度可微调，微调精度为0.1度，带角度锁定旋钮。

技术指标：

可测试Wafer尺寸：2英寸~6英寸

Chuck XY向行程：160mm*160mm

Chuck移动分辨率：旋钮调节

Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调

Chuck Z向接触分离：1mm

Chuck 真空：分三档输入

台面Z向行程：30mm,接触分离1mm

上下片方式：快速抽拉上下片

视频显示系统：体式显微镜加装CCD

显微镜基座可移动范围：50mm*50mm

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