4英寸手动探针台MPS100S报价

MPS100S探针台设计具有可升级和扩展性，例如可升级阻抗测量（配合阻抗分析仪E5061B），电容测试可达fF级别,保护用户的一次性投资

技术指标:
可测试Wafer尺寸：2英寸~4英寸
Chuck XY向行程：100mm*100mm
Chuck移动分辨率：旋钮调节
Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调
台面接触分离: 1mm
Chuck漏电:<100fA
上下片方式：手动旋钮式
视频显示系统：双目体式显微镜标配(45X)LED环形灯, 选配CCD工业相机，实时芯片图像
显微镜机构调节:XY向±25mm，Z向±35mm
遮光屏蔽罩：选配
探针：直流钨针、射频微波探针
探针座：精密千分尺结构，X,Y,Z三向可调节，磁力座

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产品详情

应用方向：高校微电子教学及科研、实验室芯片失效分析、材料器件测试

测试器件类型：光电芯片、GaN芯片、RF芯片、有机器件、OLED等

测试参数：IV,CV,阻抗参数

配合仪器：B1500A半导体器件分析仪,B2900A 源测量单元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析

MPS100S是精密4英寸探针台解决方案，适合需要在短的时间内对半导体元器件、材料、薄膜器件、晶圆片进行IV测试的用户使用。结合半导体器件分析仪及源表可作为实验室的器件分析测试平台。
MPS100S探针台为保护样片测量周期内高质量的接触，非常稳定的系统平台设计，完美的振动隔离方案，让用户取得想要的测量精度。工业标准探针座带磁性吸附底座和无反向间隙X-Y-Z移动，分辨率<2μm，接触分离驱动达到1μm重复性。高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别。
低噪声的载片台可提供加热选件，让器件测试更加容易载片台采用快速推拉式设计。可单手调节操作, 高度平整的表面及可移动性，让初学者和用户容易操作上手。

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