高温探针台MPA150A-HT

技术指标:

可测试Wafer尺寸：2英寸~6英寸

变温范围：常温~300℃

Chuck XY向行程：160mm*160mm
Chuck移动分辨率：旋钮调节
Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调
Chuck Z向接触分离：1mm
Chuck 真空：分三档输入
台面Z向行程：30mm,接触分离1mm
上下片方式：快速抽拉上下片
视频显示系统：双目体式显微镜标配(45X)LED环形灯, 选配CCD工业相机，实时芯片图像
显微镜机构调节:XY向±25mm，Z向±35mm
遮光屏蔽罩：选配
探针：直流钨针、射频微波探针
探针座：精密千分尺结构，X,Y,Z三向可调节，磁力座
外形尺寸：610mm×560mm×500mm（长×宽×高）
设备重量: 约40 KG
使用环境：电源220VAC，功率0.05kW，真空-80kPa，环境温度15ºC~30ºC，相对湿度＜60%