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半自动探针台APS2000H

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应用方向：

PD/APD芯片参数筛选测试，GaAs射频芯片S参数测试，MEMS晶圆管芯筛选测试等。

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产品详情

技术指标：

l控温范围：-55°C~300°C

lWaferMap图描述：实时扫描Wafer并对Die图像对准

lChuck控制：AutoMap软件或经典键盘多向操控Chuck移动

lWafer图形模式：圆形、阵列、环形、探边多种形式式，可自定义学习模式。

lDie坐标查询：实时显示更新Die相对坐标

l打点方式：喷墨，离线打点、异步打点

l探边功能：自动探测Wafer边缘并跳行

l测试接口：TTL电平、RS232、GPIB、以太网

l支持探针：直流钨探针、RF探针、高压探针，大电流探针

l支持仪器：B1505A,B1500A,E4980A, E5071C等

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