室温自动探针台

室温环境下的自动探针台，多用于晶圆的自动测量。提供4寸至8寸的不同规格，4到8个探针臂。

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产品详情

加磁场.png 可加磁场

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室温自动探针台是为较低预算客户研发的高可靠性探针台系统，主要应用在半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMs，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点，该平台配备高精度位移台，可实现X、Y、Z、R等方向自动调整，各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位，对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用，稳定性强，可升级扩展，操作方便是本产品的核心价值，在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。

室温自动探针台产品参数

型号	TZ-H-06
外形	444607646
重量	40kg
X-Y轴行程定位精度	±0.01mm
Z轴行程定位精度	±0.01mm
R轴行程定位精度	±0.05˚
测试直径	6/8/12寸
X-Y轴行程	110mm
Z轴行程	15mm
R轴行程	360˚
X-Y轴额定速度	100mm/s
Z轴额定速度	10mm/s
R额定速度	20˚/s
探针臂调节行程	X-50mm，Y-50mm，Z-30mm
探针臂调节精度	10um
探针臂	每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆
显微镜倍率	4X~9X（使用1X附加物镜时）
地脚	底部塑胶减震地脚
探针频率	26GHz—100GHz（可选）