8英寸变温探针台TPS200厂家

描述：

TPS-200变温型探针台针对功率器件、光电器件、射频器件晶圆片测试而设计的一体化在片测试解决方案。可提供直流IV、CV、光电参数、射频S参数的测量能力。结合特制的微型密闭腔体，高低温控制系统，支持晶圆的变温测试从-50℃~150℃。探针台载片台平面采用铝合金镀金保证测试过程中的低接触电阻、超薄晶圆片处理和功率耗散，同时提供低漏电噪声的保护及屏蔽环境。

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产品详情

应用：
器件（光电器件、IGBT、GaN、SiC等）晶圆片测试。

功能：
晶圆在片测试能力: 直流、光电、射频参数测试；
变温范围及精度： -50℃~150℃，稳定性±1℃；
载片台表面：特殊镀金处理，保证更低的晶圆表面和载片台接触电阻；
安全操作：测试过程中互锁机构保证操作员人身安全；
上下片方式：载片台抽屉式结构设计，放片取片只需轻推轻拉即可实现人工上下片；
信号连接：信号转接套件结合Keysight分析测试仪器，简单快捷实现测试系统的搭建。

配置：
TPS200: 探针台主机；
温控系统: PID加热制冷循环器(国产、进口可选)  显微镜：单筒体显微镜配置镜头；
变温配置：高低温循环系统；
探针：直流探针、光探针、射频探针；
电磁屏蔽：定制电磁屏蔽箱；
探针座：精密磁吸千分尺探针座，位移解析<1um

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