ATS1000-芯片测试系统

一、 广泛的测试用途（应用对象覆盖）

ATS1000-XX 方案解决了多种不同类型芯片的实验室级测试痛点，具有极高的通用性：

• 光电类芯片： 能够测试 PD（光电二极管）、APD（雪崩光电二极管）、VCSEL（垂直腔面发射激光器）及 LED 芯片的光电转换特性。

• 分立器件： 支持功率器件 MOSFET、TFT（薄膜晶体管）以及各类晶体管（BJT）的直流与功率特性分析。

• 传感器件： 可针对 MEMS（微机电系统）及 OLED 传感器进行精细的电气参数测试。

• 射频微波器件： 支持 SAW（声表面波滤波器）、PA（功率放大器）及衰减器的 S 参数与谐波测试。

• 集成电路（IC）： 覆盖存储 Flash 芯片及标准 CMOS 逻辑芯片的功能与参数测试。

• PCB 板级测试： 内置高速信号 TDR（时域反射）功能，用于分析 PCB 走线阻抗匹配及信号完整性。

二、 核心系统构成

该方案采用“软硬件解耦、模块化集成”的设计思路，主要包含三大核心单元：

1. 高精度机械平台（探针台系统）： 集成“探微 200 系列”手动探针台、高精密针卡及探针。支持单手微调对位，确保在微米级晶圆/芯片上实现低接触电阻的稳定扎针。

2. 智能化测试中枢（控制软件）： 采用 ATE2000-Lite 芯片自动化测试软件。该软件提供图形化编程界面，可一键式完成通道配置、数据采集与波形显示，同时支持自动化序列测试。

3. 模块化仪表库（多品类测试仪）： 根据测试需求灵活选配：

• 半导体参数测试仪： 执行基础 DC/AC 参数测试（如 IV/CV）。

• 阻抗分析仪： 用于材料与器件的介电特性分析。

• 网络分析仪： 执行高频 RF 特性及 S 参数测试。

三、 系统功能

ATS1000-XX 不仅完成基础测试，更提供了深度的数据挖掘与性能评估功能：

• 多种电学特性测试（IV, CV, 阻抗, RF S 参数, TDR）： 覆盖了从直流（DC）到高频（RF）的完整测试频段，满足不同应用场景（如晶体管特性、射频微波性能、PCB 信号完整性）。

• 数据后处理与分析： 系统自带统计分析功能，可自动生成良率分析、分布直方图等；同时支持参数提取（如阈值电压 Vth、跨导 Gm、击穿电压等关键指标）。

• 环境条件模拟： 支持接入高低温特性测试系统，能够开展从低温到高温的全温域测试，精准捕获温度对芯片电性能的影响（温度系数、热稳定性）。