低温探针台_液氮液氦低温探针台-硅科锐达

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低温/液氮液氦探针台

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LN50 高低温真空探针台

采用液氮制冷，覆盖80K-500K宽温区（控温 ±0.05K），真空度优于6.0×10⁻³Pa，漏电<150fA。支持直流/射频/光纤探针选配，集成高清显微与智能温控，广泛应用于纳米电子、超导及第三代半导体的低温电学特性表征与可靠性测试。
干式液氦超低温探针台

采用干式闭循环液氦制冷，更低温达6.5K，无需灌装液氦支持DC、RF、光电及量子器件多模态测试，集成LabVIEW全自动温控，适用于半导体、MEMS、超导量子等前沿材料低温表征。