应用方案
APPLICATIONS
用途:适用于芯片制造厂Fab产线、中试线、芯片实验室
功能:可自动完成8寸晶圆的芯片IV、CV、S电参数测试、芯片良率、分Bin、喷墨打点
系统构成:砺针2000系列自动探针台、针卡、探针、ATE2000芯片自动化测试软件和测试仪组成
用途:适用于MOSFET等半导体器件的阻抗参数测试,面向芯片量产产线及测试车间
功能:可测试MOSFET串并联等效电路中的电阻R、电容C、电感L参数;支持固定频点、扫频、扫幅及加直流偏置等多种测试条件
系统构成:由阻抗测试仪、主流机械手、测试控制软件及数据自动上传管理系统组成
用途:光电类芯片、功率器件、传感器类、射频微波类
功能:实现IV、CV、阻抗、射频S参数、TDR测试统计分析、参数提取、高低温特性
系统构成:探微200系列手动探针台、针卡、探针、ATE2000芯片自动化测试软件、测试仪
用途:适用于 10 kV 级 SiC MOSFET、IGBT 及功率二极管模块的阻断特性、击穿电压测试
功能:0→10 kV 阻断 IV 曲线自动扫描并判定击穿电压
系统构成:由UHV1500B 高压源测量单元、漏电流测量单元、栅极 SMU和 ATE2000 测试软件等组成