砺针 APS2000T半自动探针台

产品概述

砺针APS2000T是硅科锐达自主研发的半自动探针台，也是砺针2000系列中面向6~8英寸晶圆高效测试的主力机型。设备采用CCD视觉自动对准定位，支持并行测试与自动喷墨打点，全程无需人工干预，大幅提升晶圆测试与芯片筛选效率，助力芯片批量投产前的快速验证。

核心优势

微米级分辨率

X/Y/Z轴1μm定位精度，确保Die位置精准对准

智能视觉自动对准

CCD图像识别，自动定位扎针，提升测试效率

高效并行批量测试

支持并行测试与自动喷墨打点，加速芯片筛选

技术指标

探针台结构图

应用领域与案例

• 微波电路芯片测试

• 射频芯片（滤波器、功放等）测试

• 光电芯片电参数筛选

• 分立器件晶圆测试

• 半导体芯片研发验证

• 芯片生产自动化筛选

配套方案

可搭配硅科锐达ATE2000芯片测试软件，实现自动探针台与半导体参数测试仪的联动控制，完成整片晶圆的自动化IV/CV参数测试、良率统计与分Bin。也支持非标定制，按客户的晶圆尺寸、器件类型与测试项目调整配置。

咨询

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