APS2000XT支持-60°C至+200°C宽温区测试，集成高刚性工作台、CCD视觉自动对准、自动喷墨打点及智能控制软件，具备权限管理、并行测试与Wafer MAP实时显示功能，并可配置低漏电探针卡（<100fA）、直流/射频探针座及高低温Chuck系统，广泛适用于集成电路、MEMS、射频及光电芯片的科研与量产测试
核心优势
-60°C至+200°C
模拟芯片真实工况，轻松应对车规、工规芯片的高低温测试
智能视觉自动对准
CCD图像识别，自动定位扎针，提升测试效率
高效并行批量测试
支持并行测试与自动喷墨打点，加速芯片筛选
技术指标
可测试参数 | 射频S参数、IV参数、CV参数测试 |
可测试样品尺寸 | 更大支持8英寸 |
载片台（chuck盘） | X-Y行程250mm*420mm |
Z行程25mm | |
温控单元 | -60°~200℃，分辨率±0.1℃，稳定性±0.5℃，精度±0.1℃ |
动力系统 | 直流步进电机 |
控制系统 | 工控机/控制软件 |
显微镜单元 | CCD相机/显微镜/物镜/光源/桥架/显示器 |
配件 | 探针座/探针适配器/针卡/探针/线缆 |
防护罩 | 遮光防护罩、光栅隔离防护罩 |
探针台结构图
应用领域与案例
微波电路芯片测试
射频芯片（滤波器、功放等）测试
光电芯片电参数筛选
分立器件晶圆测试
半导体芯片研发验证
芯片生产自动化筛选
公众号
18502873311
