采用液氮制冷，覆盖 80K-500K 宽温区（控温 ±0.05K），真空度优于 6.0×10⁻³Pa，漏电 <150fA。
支持直流/射频/光纤探针选配，集成高清显微与智能温控，广泛应用于纳米电子、超导及第三代半导体的低温电学特性表征与可靠性测试。
核心优势
宽温域精准温控
80K～500K宽温域变温，控温稳定性优于±0.05K
高真空纯净测量
腔体真空度优于6.0×10⁻³Pa，彻底消除湿气氧化
多模态一站式测试
支持DC、RF、微波、光电多类测量，可配光纤探针
技术指标
样品台尺寸 | 4英寸 |
真空腔体 | 真空度<1*10^-3Pa、预留4个法兰接口 |
温度控制 | 80~500K、液氦/电加热、分辨率±0.1℃，稳定性±0.5℃，精度±0.1℃ |
显微镜单元 | CCD相机/显微镜/物镜/光源/桥架/显示器 |
探针臂 | 最多6个、110mm*50mm*30mm |
配件 | 探针适配器/针卡/探针/线缆 |
防护罩 | 遮光防护罩、光栅隔离防护罩 |
探针台结构图
应用领域与案例
微波电路芯片测试
射频芯片（滤波器、功放等）测试
光电芯片电参数筛选
分立器件晶圆测试
半导体芯片研发验证
芯片生产自动化筛选
公众号
18502873311
