采用干式闭循环液氦制冷，更低温达6.5K，无需灌装液氦
支持DC、RF、光电及量子器件多模态测试，集成LabVIEW全自动温控，适用于半导体、MEMS、超导量子等前沿材料低温表征。
核心优势
干式极低温，无需灌装液氦
闭循环液氦制冷，更低温达6.5K，控温优于±0.05K
高真空纯净测量
腔体真空度优于6.0×10⁻³Pa，彻底消除湿气氧化
多模态一站式测试
支持DC、RF、微波、光电多类测量，可配光纤探针
技术指标
样品台尺寸 | 4英寸 |
真空腔体 | 真空度<1*10^-3Pa、预留2个法兰接口 |
温度控制 | 6.5~400K、干式液氦制冷，闭循环自动温度控制 |
显微镜单元 | CCD相机/显微镜/物镜/光源/桥架/显示器 |
探针臂 | 最多6个、110mm*50mm*30mm |
配件 | 探针适配器/针卡/探针/线缆 |
防护罩 | 遮光防护罩、光栅隔离防护罩 |
探针台结构图
应用领域与案例
微波电路芯片测试
射频芯片（滤波器、功放等）测试
光电芯片电参数筛选
分立器件晶圆测试
半导体芯片研发验证
芯片生产自动化筛选
公众号
18502873311
