技术指标:
X-Y-Z 移动行程: 12.5mm x 12.5mm x 12.5mm
线性解析:100TPI,分辨率<1um
带磁力开关
带固定探针机构,可调节射频探针水平角度
尺寸: 140mm(W)x60mm(D)x125mm(H)
射频探针座SR-T80RF,三向千分尺XYZ调节,XY向同侧,减少占地面积;带射频探针支架;射频探针GSG或者GS针尖平面偏转角度可调
典型应用
· 晶圆在片 S 参数测试(与矢量网络分析仪联用)
· 射频芯片(PA、LNA、开关、滤波器)在片表征 · 毫米波器件的晶圆级调试与筛选