技术指标:
X-Y-Z 移动行程: 12mm x 12mm x 12mm
线性解析2um
带磁力开关
带固定探针机构,可调节直流探针倾斜角度
尺寸: 73mm(W) x 48mm(D) x 68mm(H)
用途:微弱电流策略,阻抗测试、高压测试、IO功能测试
适用测试场景
· 微弱电流测量:配合 SMU 源测量单元,进行 pA 级漏电流测试;
· 阻抗测试:配合 LCR 表完成器件阻抗特性测量;
· 高压测试:搭配高耐压探针,支持功率器件耐压测试;
· IO 功能测试:芯片引脚功能验证与连通性测试。