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SR-OP-V01 垂直光纤探头是光电芯片在片测试的核心配件。光电芯片(PD/APD、VCSEL、硅光等)的电极在晶圆表面、光耦合面朝上,必须用垂直入射的光纤把光信号对准光敏区,同时用电学探针完成加电。
技术指标
· 两维角度调节范围:±5°
· 适配标准单模/多模光纤跳线(具体接口规格可按需求选配)
典型应用
· PD / APD 光响应度与暗电流测试
· VCSEL 阈值电流与光功率测试 · 硅光芯片光电联测
· 变温光电特性测试(配合 LN50 高低温真空探针台、干式液氦超低温探针台)