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系统能力及特点
ü IV测试能力:电流测量能力1nA~1A,电压测量能力1uV~1000V
ü 交钥匙系统:用户只需知道如何使用即可,无需了解复杂的测试原理
ü 全自动探针台:自动上下片,图像识别自动校准晶圆
ü 测试自动化程度高:完全软件控制,人工只负责放料
ü 系统可升级扩展:根据用户需求可以控制外部其它仪器例如电容测试
ü 软件操作易用性:傻瓜式人机界面、测试条件定义清晰,符合工艺测试要求