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系统能力及特点
ü 脉冲测试能力:系统测试带宽100MHz
ü 集成光源:定制红外脉冲光源,带积分球,覆盖光敏面
ü 测试参数:Vp-pu
ü 交钥匙系统:用户只需知道如何使用即可,无需了解复杂的测试原理.
ü 测试自动化程度高:完全软件控制,人工只负责放料
ü 半自动探针台:自动图像识别并校正晶圆位置,自动扎针
ü 系统可升级扩展:根据用户需求可以控制外部其它仪器
ü 软件操作易用性:傻瓜式人机界面、测试条件定义清晰,符合工艺测试要求