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专为功率、光电、射频器件晶圆测试设计,支持直流IV、CV、TLP、RF测量8英寸行程,真空吸附,镀镍载片台,适配SiC、GaN、VCSEL、SAW等器件及集成电路测试

专为功率、光电、射频器件晶圆测试设计,支持直流IV、CV、光电及射频S参数测量。温控范围-60℃~200℃,适配2~8英寸晶圆,载片台镀金。适用于PD/APD、SiC、射频芯片等在片测试。

专为功率、光电、射频器件晶圆测试设计,支持10kV/500A高压大电流及IV、CV、TLP、RF测量。8英寸行程,镀镍载片台,安全光幕互锁,适用于SiC、GaN、MOSFET等功率器件在片测试。

专为6~8英寸晶圆高效测试设计,自动找正、寻Die、扎针、生成map、测试并记录数据,完成整晶圆芯片的IV及CV 参数的自动筛选测试

APS2000XT支持-60°C至+200°C宽温区测试,集成高刚性工作台、CCD视觉自动对准、自动喷墨打点及智能控制软件,具备权限管理、并行测试与Wafer MAP实时显示功能,并可配置低漏电探针卡(<100fA)、直流/射频探针座及高低温Chuck系统,广泛适用于集成电...

ATE2000 晶圆级芯片自动化测试软件 是硅科锐达(Siradar)自主开发的专业测试平台,专用于晶圆级芯片的 IV 与 CV 参数自动筛选测试。该软件可实现对自动探针台与半导体参数测试仪的系统联动控制,完成整片晶圆上所有芯片的自动化测试。

由探微200系列手动探针台、ATE2000-Lite软件及参数/阻抗/网络分析仪构成,可实现参数提取与统计分析。支持IV、CV、射频S参数、TDR及高低温测试,适用于光电、功率、射频、MEMS、存储及PCB等多元芯片测试。

采用液氮制冷,覆盖80K-500K宽温区(控温 ±0.05K),真空度优于6.0×10⁻³Pa,漏电<150fA。支持直流/射频/光纤探针选配,集成高清显微与智能温控,广泛应用于纳米电子、超导及第三代半导体的低温电学特性表征与可靠性测试。

采用干式闭循环液氦制冷,更低温达6.5K,无需灌装液氦支持DC、RF、光电及量子器件多模态测试,集成LabVIEW全自动温控,适用于半导体、MEMS、超导量子等前沿材料低温表征。

SR-T100DC 是一款面向直流精密测量的探针座,配合探针使用,安装在手动探针台或自动探针台上,对待测芯片的电极 PAD 进行精准加电与信号拾取。其 2μm 级的线性解析能力,让微米级 PAD 的扎针定位既快又稳,是实验室晶圆级测试的基础配件

SR-T80DC 直流探针座采用三向千分尺 XYZ 调节结构,XY 两向调节手轮同侧布置,多探针座并排使用时不互相干涉,有效减少占地面积——在探针台上布置多针位测试时,直接提升操作效率。

直流探针座SR-T80K,三向千分尺XYZ调节,XY向同侧,减少占地面积